技术指标，空气露点-45℃，粉尘>0.01mg/L。臭氧发生器富氧源系统(UPS)是指空气经过压缩干燥处理后，经(VPS)富氧受压吸附产量一定纯度的氧气送入臭氧合成系统的装置。冷却系统臭氧合成过程中大约90%电功率转换成热能，稳定的冷却系统是发生器长期运行的根本保障。冷却系统主要对放电单元外电极进行冷却和对进入放电单元的气体进行调节，以保证臭氧产量的稳定。冷却系统分为开路循环和闭路循环两种，开路循环是指冷却剂经放电室进入交换器直接排放。闭路循环是指冷却剂经循环泵加压后通过放电室交换器闭路循环的系统。通常情况下，大型臭氧系统采用闭路循环冷却，中小型臭氧系统采用开路循环冷却。
实验系统主回路及其控制策略为了减小发生器的体积并提高臭氧的产量，一般采用高频电源对臭氧发生器进行供电。与感应加热电路类似，臭氧发生器的高频化是通过负载谐振来实现的。由臭氧发生器的等效电路可知，不论发生器装置是否处于放电状态，负载总是容性负载，为了能使负载达到谐振条件，往往在逆变回路串联或并联补偿电感。同时为了减少DBD参数的变化对系统稳定性的影响，在谐振电源中大都采用了在感应加热技术中广泛使用的频率跟踪技术。
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