臭氧氧化技术的发展及特点，臭氧具有很强的氧化性，可以氧化多种化合物，因此，臭氧氧化技术在水处理中被广泛应用。臭氧氧化技术具有如下特点，臭氧不仅有很好的快速杀菌、消毒性质，而且具有极高的氧化有机和无机化合物的氧化力，可去除其它水处理工艺难以去除的物质。臭氧的反应完全、速度快，从而可以减小构筑物体积。剩余臭氧会迅速转化为氧气，能增加水中溶解氧，效率高，不产生污泥，不造成二次污染。在提高净化效果、杀菌、消毒的同时，可除嗅、除味。制备臭氧用的电和空气不必储存和运输，臭氧化装置占地小，运行操作管理简单，特别适用干原有水厂的提高水质和水量。
臭氧发生器灭菌速度快，紫外线照耀灭菌需求较长的作用时刻，一般要照耀6小时以上，而契合规范浓度的臭氧只需开机1小时以上。高湿度下灭菌作用更好。紫外线照耀灭菌在环境相对湿度到达60%以上时，消毒作用急剧下降，湿度到达80%以上时反可诱使细菌复生。臭氧则相反，湿度越高，灭菌作用越好。这是因为高湿度下细胞膜膨胀变薄，其安排简单被臭氧损坏，这一特性对于食物行业中普遍存在的高湿环境特别合适。
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