臭氧发生器产生的臭氧在室温下自然衰变为氧气，衰变期为15分钟到25分钟。臭氧在水中则迅速转化为“生态氧”，而且没有残留问题。臭氧是、快速的除药杀菌剂。它可以迅速地在短时间内使农药残留物化解，使细菌、病毒迅速被消灭。无菌药品生产环境的空气洁净级别要求，为了达到上述要求，我们应选择什么样的净化灭菌工艺呢。当前有四种灭菌方法。其中臭氧灭菌是其中的一项重要方法。但无论用什么样的消毒方法，都要达到上述规定，臭氧灭菌也不例外。臭氧作为一种取代传统消毒方法的消毒手段，人们对它的要求更严而且更为省事易行，否则，就难以立足。
臭氧发生器内置四个程序(抽真空、充臭氧、消毒、解析)，先通过气泵将被消毒物品的空气抽出，近似真空状态(以到达臭氧与被消毒物品的充分融合);然后由不锈钢搪瓷臭氧管产生的臭氧气体，通过气泵将臭氧气体充入消毒袋或消毒罩进行消毒，消毒完毕后，再通过气泵将被消毒物品中剩余的臭氧气体抽出，通过解析装置吸附掉剩余臭氧。
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