臭氧发生器具有以下有别于传统杀菌方法的优点，环保洁净，无二次污染，臭氧消毒产物无害且自身不对环境产生污染，在环境中能自然分解成氧气，因而是一种洁净的净化技术。迅速，短时间见效，能有效杀灭各种微生物，赶走各类蚊虫鼠蚁，有限扼制传播途径和传染源。适应性强，随地即可用，就地取材产生高浓度臭氧且操作方便。
臭氧发生器杀灭微生物的机理，Roy等以PV1作为模型病毒，研究了臭氧对肠道病毒的灭活机理。结果证明，臭氧可破坏病毒衣壳蛋白的四条多肽链，并使RNA受到损伤。报道，臭氧和对其敏感的氨基酸娥基发生反应可直接破坏蛋白质。Kim等报告，臭氧作用过程中,可使噬菌体中RNA被释放出来，电镜观察还可见噬菌体被断裂成小的碎片。,嘌吟和嘧啶经臭氧作用后紫外吸收发生改变。有人还认为臭氧可与细菌细胞壁脂类双键反应，穿入菌体内部，作用于脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细胞溶解、死亡。
臭氧机除臭机理，臭氧去除异味性能极好。依靠其强氧化性能可快速分解产生臭味及其它气味的有机或无机物质，臭味的主要成分是胺、硫化氢，甲硫醇等。臭氧对其氧化分解，生成物没有气味。
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